《微细加工技术》
期刊级别： 统计源期刊
主管单位：信息产业部
主办单位：中国电子科技集团公司第48研究所
国内刊号：1003-8213
国际刊号：43-1140/TN
全年订价：￥190
基本信息
主管单位：信息产业部
主办单位：中国电子科技集团公司第48研究所
出版地区：湖南
发行周期：双月刊
创刊时间：1983
出版语言： 中文
主编：伍三忠
地址：长沙市第96号信箱301分箱（长沙黑石铺）
邮编：410111
栏目设置
期刊简介
微细加工技术是由中国电子科技集团公司第48研究所主办的一本无线电电子学学术期刊 ，自1983年创刊以来， 已经成为一本专注于信息科技研究的学术刊物。 该刊旨在深入挖掘并广泛传播无线电电子学交叉融合领域的最新研究成果与创新思想。 该杂志以其独特的学术定位和专业视角，在无线电电子学研究领域内树立了鲜明的旗帜，成为连接学者、研究者及行业专家的重要桥梁。 这本期刊专注于报道电子领域的最新研究成果。 其热门主题涵盖了离子注入；电子束曝光机；MEMS；光刻；金刚石；集成电路；金刚石薄膜；微细加工；微机电系统；电子束； 在发文主题方面，该期刊主要关注光刻、离子注入、电子束曝光、刻蚀、半导体、电路、微细、集成电路、微细加工、曝光机等领域的研究。
该期刊在学术界享有多项荣誉，包括：Caj-cd规范获奖期刊、北大图书馆收录期刊等。
微细加工技术的研究成果得到了多个科研项目的资助支持，其中包括 国家自然科学基金(文献量256篇)、 国家高技术研究发展计划(文献量65篇)、 国家重点基础研究发展计划(文献量54篇)、 国家教育部博士点基金(文献量17篇)、 国家重点实验室开放基金(文献量15篇)、 山东省自然科学基金(文献量13篇)、 中国科学院知识创新工程(文献量11篇)、 中国博士后科学基金(文献量10篇)、 等。
发文精选
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1微电铸技术及其工艺优化进展研究
作者：李冠男; 黄成军; 罗磊; 郭旻; 于中尧; 于军； 华中科技大学; 电子科学与技术系; 武汉; 430074; 华中科技大学; 电子科学与技术系; 武汉; 430074; 华中科技大学; 电子科学与技术系; 武汉; 430074; 生物芯片北京国家工程研究中心; 北京; 102206; 生物芯片北京国家工程研究中心; 北京; 102206; 华中科技大学; 电子科学与技术系; 武汉; 430074；
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2电子束曝光数据格式的改进设计与实现
作者：魏淑华; 刘伟; 李晓娜; 张今朝; 韩立； 中国科学院电工研究所; 北京; 100080; 中国科学院研究生院; 北京; 100039; 中国科学院电工研究所; 北京; 100080; 中国科学院电工研究所; 北京; 100080; 中国科学院电工研究所; 北京; 100080; 中国科学院电工研究所; 北京; 100080；
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3电子束液态曝光技术中的穿透深度预测研究
作者：孔祥东; 冯圣玉; 卢文娟; 张玉林； 山东大学; 化学与化工学院; 济南; 250100; 东营职业学院; 科研处; 山东东营; 257091; 山东大学; 化学与化工学院; 济南; 250100; 山东大学; 控制学院; 电子束研究所; 济南; 250061; 山东大学; 控制学院; 电子束研究所; 济南; 250061；
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4用于衍射光栅刻划的超精密金刚石刻刀的研制
作者：李英海; 巴音贺希格; 齐向东； 中国科学院长春光精密机械与物理研究所; 长春; 130033; 中国科学院长春光精密机械与物理研究所; 长春; 130033; 中国科学院长春光精密机械与物理研究所; 长春; 130033；
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5用DMD灰度曝光法产生连续面形微结构
作者：陈铭勇; 郭小伟; 马延琴; 杜惊雷； 四川大学; 物理与科学技术学院; 成都; 610065; 四川大学; 物理与科学技术学院; 成都; 610065; 四川大学; 物理与科学技术学院; 成都; 610065; 四川大学; 物理与科学技术学院; 成都; 610065；
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6光刻机掩模台宏动定位系统的控制器设计
作者：邓习树; 吴运新; 王永华； 中南大学; 机电工程学院; 长沙; 410083; 中南大学; 机电工程学院; 长沙; 410083; 中南大学; 机电工程学院; 长沙; 410083；
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7基于PZT厚膜驱动的微喷芯片的设计
作者：乔治; 许宝建; 周洪波; 金庆辉; 赵建龙； 中国科学院上海微系统与信息技术研究所; 上海; 200050; 中国科学院研究生院; 北京; 100039; 中国科学院上海微系统与信息技术研究所; 上海; 200050; 中国科学院研究生院; 北京; 100039; 中国科学院上海微系统与信息技术研究所; 上海; 200050; 中国科学院研究生院; 北京; 100039; 中国科学院上海微系统与信息技术研究所; 上海; 200050; 中国科学院上海微系统与信息技术研究所; 上海; 200050；
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8F-DLC疏水性能的研究
作者：刘雄飞; 张德恒; 齐海兵； 中南大学; 物理科学与技术学院; 长沙; 410083; 中南大学; 物理科学与技术学院; 长沙; 410083; 中南大学; 物理科学与技术学院; 长沙; 410083；
发文领域分析
| 一级发文领域名称 | 发文量 |
| 电子电信 | 924 |
| 自动化与计算机技术 | 108 |
| 理学 | 87 |
| 一般工业技术 | 73 |
| 机械工程 | 65 |
| 电气工程 | 63 |
| 金属学及工艺 | 43 |
| 化学工程 | 26 |
| 动力工程及工程热物理 | 5 |
| 核科学技术 | 4 |
| 二级发文领域名称 | 发文量 |
| 电子电信 / 物理电子学 | 742 |
| 电子电信 / 微电子学与固体电... | 120 |
| 自动化与计算机技术 / 控制科... | 94 |
| 自动化与计算机技术 / 检测技... | 92 |
| 理学 / 物理 | 67 |
| 一般工业技术 / 材料科学与工... | 57 |
| 理学 / 固体物理 | 36 |
| 金属学及工艺 / 金属学 | 29 |
| 机械工程 / 光学工程 | 25 |
| 电子电信 / 信息与通信工程 | 25 |
主要发文机构和主题
| 主要发文机构名称 | 发文量 |
| 中国科学院 | 192 |
| 上海交通大学 | 129 |
| 清华大学 | 60 |
| 中国科学技术大学 | 47 |
| 电子工业部 | 46 |
| 中国科学院微电子研究所 | 38 |
| 中国科学院长春光学精密机械与... | 34 |
| 山东大学 | 29 |
| 山东工业大学 | 28 |
| 华中理工大学 | 26 |
| 主要发文主题名称 | 发文量 |
| 光刻 | 151 |
| 离子注入 | 105 |
| 电子束曝光 | 79 |
| 刻蚀 | 76 |
| 半导体 | 72 |
| 电路 | 70 |
| 微细 | 65 |
| 集成电路 | 64 |
| 微细加工 | 59 |
| 曝光机 | 57 |